Έξυπνος μετρητής ροής μάζας Ελεγκτής ροής μικρού όγκου
Χρήση και χαρακτηριστικά
Ο ελεγκτής ροής μάζας (MFC) χρησιμοποιείται για την ακριβή μέτρηση και τον έλεγχο της ροής μάζας ενός αερίου. Διαδραματίζουν σημαντικό ρόλο στην έρευνα και την παραγωγή στη βιομηχανία ημιαγωγών και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ειδικών υλικών, χημικής βιομηχανίας και σε διάφορους τομείς της βιομηχανίας, της ιατρικής, των λαμπτήρων κενού. Οι τυπικές εφαρμογές του περιλαμβάνουν: εξοπλισμό ηλεκτρονικής επεξεργασίας, όπως η διάδοση, η επέκταση, CVD、 οξείδωση, διάβρωση πλάσματος, ψεκασμός, ένεση ιόντων· Εξοπλισμός επικάλυψης, τήξη οπτικών ινών, συσκευές μικροαντιδράσεων, συστήματα διανομής αερίων, μετρήσεις κεφαλαίων, χρωματογράφημα αερίου και άλλα όργανα ανάλυσης.
Κύριοι τεχνικοί δείκτες
Σειρά μέτρησης (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Ακριβότητα +1,5% F.S.
Γραμμική +0.5~1.5%F.S
Ακριβότητα επανάληψης +0.2%F.S
Χρόνος απόκρισης 10sec Χαρακτηριστικά αερίου: (1 ~ 4) sec
Διαφορά πίεσης εργασίας 0.1~0.5MPa
Αντοχή στην πίεση 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας 0~70℃
Αριθμική ποσότητα RS485 MODBUS πρωτόκολλο
Αναλογική ισχύς DC 0~5V, 4~20mA προαιρετικό
Ηλεκτρικά χαρακτηριστικά: SLM
Τροφοδότηση DC +15V/24V προαιρετικό, μετρητής ροής <50mA, ελεγκτής <200mA
Ηλεκτρική σύνδεση DB15
Διαρροή 1×10 SCCSHe
Υλικό βάσης 316L ανοξείδωτο χάλυβα
Υλικό σφράγισης Φλουόρο καουτσούκ, μπουντίνιο, νεοπρενίο
Συνδέσεις αεροδρόμων Φ3, Φ6, Φ10, 1/8», 1/4», 3/8»
Σημείωση: Ο μετρητής ροής μάζας και ο ελεγκτής ροής μάζας είναι συνήθως βαθμολογημένοι από το εργοστάσιο με αζώτο (N₂).
Η μονάδα ροής μάζας ορίζεται ως: SCCM (τυποποιημένα ml/min). SLM (τυποποιημένο λίτρο/λεπτό)
Έξυπνος μετρητής ροής μάζας Ελεγκτής ροής μικρού όγκου