Το σιλάνιο είναι ένα σημαντικό νέο υλικό που χρησιμοποιείται ευρέως σε βιομηχανίες οθόνης LCD, ημιαγωγών, ηλιακής ενέργειας και άλλων βιομηχανιών, με την ανάπτυξη των βιομηχανιών ημιαγωγών και άλλων βιομηχανιών της Κίνας, η εγχώρια ζήτηση για σιλάνιο αυξάνεται όλο και περισσότερο, αλλά λόγω της εγχώριας τεχνολογίας παραγωγής σιλάνιου που βρίσκεται σε αρχικό στάδιο, πώς να αναλύσει την καθαρότητα του σιλάνιου είναι ένα θέμα που πρέπει να αντιμετωπ
Όπως είναι γνωστό, η ανάλυση υψηλής καθαρότητας αερίων είναι μια περίπλοκη διαδικασία και μια από τις δυσκολίες της χρωματογραφικής ανάλυσης. Λόγω της ιδιαιτερότητας των φυσικών ιδιοτήτων του, η δυσκολία της ανάλυσής του μπορεί να είναι δύσκολη και δύσκολη, όχι μόνο απαιτεί υψηλά ευαίσθητους ανιχνευτές, αλλά και να επιλύσει το πρόβλημα της καύσης του οξυγόνου.GC-9560-HG χρωματομέτρος αερίου ιόντων ελίουΈχοντας ξεπεράσει πολλές τεχνικές δυσκολίες στη διαδικασία ανάλυσης του σιλανίου, χρησιμοποιώντας ανιχνευτές ιονισμού ελίου υψηλής ευαισθησίας, εξοπλισμένους με ειδικό σύστημα δειγματοληψίας του σιλανίου, ολοκληρώθηκε καλά η ανάλυση των ακαθαρσίων ppb σε ίχνη του σιλανίου.

Εφαρμοστέα πρότυπα:

• GB/T 15909-2009 Αέρια για ηλεκτρονική βιομηχανία

GC-9560-HG Χρωματογράφος αερίου ιονισμού ελίου για την ανάλυση σιλανίουΚατάλληλο για την ανίχνευση ίχνων ακαθαρσίας σε αέρια υψηλής καθαρότητας και ηλεκτρονικά βιομηχανικά αέρια, η μικρή συγκέντρωση ανίχνευσης zui μπορεί να φτάσει τα 5ppb. Το όργανο είναι εξοπλισμένο με υψηλά ευαίσθητο ανιχνευτή ιονισμού ελίου, χρησιμοποιώντας την κεντρική τεχνολογία κοπής της Huawei Inc.*, η βαλβίδα εισαγωγής δειγματοληψίας είναι εξοπλισμένη με βαλβίδα εισαγωγής με προστατευτική διαδρομή αέρα για την καθάριση. Ολόκληρη η μηχανή έχει σχεδιαστεί με πολλές στήλες, διαφορετικές χρωματικές στήλες μπορούν να ελέγχουν ξεχωριστά τη θερμοκρασία, zui βελτιστοποιεί τις συνθήκες διαχωρισμού και διευκολύνει την ξεχωριστή επεξεργασία γήρανσης των διαφορετικών χρωματικών στήλων, διευκολύνοντας τη συντήρηση του οργανισμού. Το όργανο είναι εξοπλισμένο με σύστημα αυτόματης διόρθωσης πίεσης δειγματοληψίας, για να ξεπεράσει τα λάθη ανάλυσης που προκαλούνται από διαφορετικά υπόγεια αέρια λόγω διαφορετικού μοριακού βάρους.

Ένα,GC-9560-HG Χρωματογράφος αερίου ιονισμού ελίου για την ανάλυση σιλανίουΠλεονεκτήματα απόδοσης:
Η βιομηχανία αερίου είναι η βασική βιομηχανία της εθνικής οικονομίας, είναι το "αίμα" της βιομηχανικής παραγωγής, και με την ταχεία ανάπτυξη της εθνικής οικονομίας, η ζήτηση για αέρια υψηλής καθαρότητας και αέρια ηλεκτρονικής βιομηχανίας αυξάνεται ταχέως. Η ανίχνευση των ίχνων ακαθαρσίας είναι ένα κρίσιμο σημείο στην παραγωγή αερίων υψηλής καθαρότητας και ηλεκτρονικών βιομηχανικών αερίων, ενώ η ανάλυση των ίχνων ακαθαρσίας ήταν πάντα μια δύσκολη ανάλυση χρωματογραφίας, οι παραδοσιακοί ανιχνευτές χρωματογραφίας όπως η θερμική αγωγή δεν είναι ικανοί για την ανάλυση αερίων υψηλής καθαρότητας
Ο ανιχνευτής ιονισμού ελίου με εκφόρτωση παλμού (PDHID) είναι ένας εξαιρετικά ευαίσθητος γενικός ανιχνευτής που έχει υψηλή απόκριση σε σχεδόν όλες τις ανόργανες και οργανικές ενώσεις και είναι ιδιαίτερα κατάλληλος για την ανάλυση υψηλής καθαρότητας αερίων, είναι ένας ανιχνευτής που μπορεί να ανιχνεύσει μέχρι το επίπεδο ng / g (ppb). Τα νέα εθνικά πρότυπα προβλέπουν ότι ο ανιχνευτής ιονισμού ελίου αντικαθιστά τον αρχικό ανιχνευτή θερμικής αγωγής και άλλους ανιχνευτές, η χρωματογραφία Huaei αναλαμβάνει το κύριο καθήκον συνταγής του εθνικού προτύπου "Ανάλυση αερίου Χρωματογραφία φάσης ιονισμού ελίου" επίσης αναπτύσσεται και σύντομα θα δημοσιευθεί επίσημα.

PDHID όρια ανίχνευσης ακάθαρτων αερίων στο σιλάνιο (ppb)

Δύο.GC-9560-HGΔιαμόρφωση συστήματος:

(1) GC-9560-HG χρωματομέτρο αερίου ιονισμού ελίου (2) ανιχνευτής ιονισμού ελίου (PDHID)

(3) Κεντρικό σύστημα κοπής (4) Ηλεκτρονικό σύστημα δειγματοληψίας αερίων

(5) Συστήματα προσρόφησης και επανάληψης οξυγόνου (6) Καθαριστές ελίου

(7) Βαλβίδα μείωσης πίεσης για μεταφορά αερίου (8) Βαλβίδα δειγματοληψίας χωρίς νεκρό όγκο
(9)Φίλτρα αερίου μεταφοράς (10)Φίλτρα δείγματος

(11) Χρωματογραφική στήλη (12) Κανονικά αέρια
(13) υψηλής καθαρότητας ήλιο (καθαρότητα> 99,999%) (14) GC-9560V4.0 έκδοση αντι-ελεγχόμενη χρωματογραφία εργασίας

• Κεντρική τεχνολογία κοπής για την πλήρη ανάλυση αερίων:
  Το χρωματογράφημα αερίου ιόντων ελίου GC-9560-HG χρησιμοποιεί την τεχνολογία κεντρικής κοπής και αντιφυσίσματος με πολλές βαλβίδες και πολλές στήλες, το σύστημα αποτελείται από πολλές βαλβίδες 10 διαδρομών και πολλές χρωματογραφίες ρίζας που συνδυάζονται για να ελέγχουν αυτόματα τη διαδικασία δείγματος, εναλλαγής, κοπής και αντιφυσίσματος μέσω της χρονικής διαδικασίας που ορίζεται στο σταθμό εργασίας.

• Βαλβίδα 10 διαδρομών
  GC-9560-HGΕξοπλισμένη με την αρχική εισαγωγή VICI παραγωγής με προστατευτική αεροδρόμους τύπου βαλβίδα 10 διαδρομών, το επίπεδο της βαλβίδας είναι πάντα στην ατμόσφαιρα μεταφοράς αερίου, αποφεύγοντας την εισαγωγή δείγματος και την εναλλαγή κατά τη διείσδυση του αέρα στο δείγμα, βελτιώνοντας σημαντικά την ευαισθησία και την ακρίβεια ανίχνευσης.
• Ειδική επεξεργασμένη τεχνολογία χρωματογραφικής στήλης
  (1) Ο σωλήνας χρωματογραφικής στήλης χρησιμοποιεί υλικό από ανοξείδωτο χάλυβα 316L και ο εσωτερικός τοίχος του σωλήνα έχει υποβληθεί σε παθητική επεξεργασία για να αποτρέψει την προσρόφηση και την καθυστέρηση του μονοξειδίου του άνθρακα
  (2) οι φορείς χρωματικής στήλης έχουν λάβει ειδική επεξεργασία για να αποφευχθούν προβλήματα όπως η προσρόφηση οξυγόνου
  (3) Η προκοπή στήλης χρησιμοποιεί την τεχνολογία μικροσκοπικής στήλης γέμισης της χώρας με τη χρήση της χρωματογραφίας Huaei για να βελτιώσει συνολικά τον διαχωρισμό του δείγματος, λαμβάνοντας υπόψη τον διαχωρισμό, τη σταθερότητα και την ταχύτητα

• Σύστημα διαχωρισμού πολυσυλώνων
  Οι μορφές των δειγμάτων αερίου είναι ποικίλες, ενώ η ποικιλία των ακαθαρτήτων είναι μεγάλη, απαιτώντας συνδυασμό πολλών διαφορετικών χρωματικών στήλων για να ολοκληρωθεί ο διαχωρισμός όλων των ακαθαρτήτων στο δείγμα αερίου. Δεδομένου ότι η θερμοκρασία λειτουργίας των διαφορετικών χρωματογραφικών στήλων ποικίλλει, είναι δύσκολο να βρεθεί μια θερμοκρασία λειτουργίας που ταυτόχρονα είναι κατάλληλη για την εργασία των διαφορετικών χρωματογραφικών στήλων στο ίδιο κιβώτιο στήλων. Το GC-9560-HG έχει σχεδιαστεί με πολλές στήλες για να επιλύσει αποτελεσματικά το πρόβλημα των διαφορετικών χρωματογραφικών στήλων που απαιτούν διαφορετικές θερμοκρασίες εργασίας.
  Στην καθημερινή συντήρηση του οργανισμού, επειδή η θερμοκρασία ενεργοποίησης των χρωματογραφικών στήλων διαφορετικών φορέων, όπως το μοριακό σκοτάδι 5A, ποικίλλει, εάν η γήρανση στο ίδιο κουτί στήλων απαιτεί την αφαίρεση των χρωματογραφικών στήλων που δεν ανέχονται υψηλές θερμοκρασίες και στη συνέχεια ενεργοποιούνται ξεχωριστά. Ο σχεδιασμός του GC-9560-HG με πολλές στήλες μπορεί να επιλύσει αποτελεσματικά τα παραπάνω προβλήματα και οι διαφορετικές χρωματογραφικές στήλες μπορούν να ενεργοποιηθούν ξεχωριστά σε διαφορετικές στήλες, αποφεύγοντας το πρόβλημα της αποσυναρμολόγησης των χρωματογραφικών στήλων στις καθημερινές εργασίες συντήρησης του οργανισμού.
• Εκκαθαριστής ελίου HP-2:
  GC-9560-HGΧρησιμοποιώντας υψηλής καθαρότητας ήλιο ως αέριο μεταφοράς, η καθαρότητα του ήλιου επηρεάζει άμεσα την ευαισθησία ανίχνευσης όλων των ακαθαροτήτων του οργανισμού. Οι δοκιμές έδειξαν ότι η καθαρότητα του αερίου μεταφοράς που χρησιμοποιήθηκε για την ανάλυση υψηλής καθαρότητας αερίου ήταν τουλάχιστον μία βαθμίδα υψηλότερη από την καθαρότητα του δείγματος αερίου.
  Ο καθαριστής ελίου τύπου HP-2 είναι ένας αποκλειστικός καθαριστής αερίου που παράγεται από την εταιρεία VICI, η καθαριστική μάτρα του είναι ένα μη πτητικό προσρροφητικό κράμα, η επιφάνεια των σωματιδίων προσρροφητικού έχει ένα στρώμα οξειδωτικής μεμβράνης που πρέπει να ενεργοποιηθεί με θέρμανση, η διαδικασία ενεργοποίησης πρέπει να ολοκληρωθεί σε κενό ή σε περιβάλλον αδρανού αερίου, έτσι ώστε το έλιο να εξαπλωθεί ελεύθερα μεταξύ τους, αποτρέποντας το σχηματισμό ενός στρώματος καθαρισμού οξυγόνου Τα απορροφητικά υλικά της HP έχουν καλή θερμική σταθερότητα, συμπεριλαμβανομένων δύο περιοχών ελέγχου θερμοκρασίας.
  Καθαρίσιμα αέρια: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Μεγάλη πίεση λειτουργίας: 1000psi
  Αέρια: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Περίμενε.
  Συγκέντρωση: ≤10ppb
• Σύστημα διόρθωσης πίεσης
  Ο παραδοσιακός χρωματογράφος χρησιμοποιεί τη μέθοδο ελέγχου της ροής στην έξοδο της βαλβίδας δείγματος για τον έλεγχο του όγκου δείγματος μέσα στον ποσοτικό σωλήνα, η δοκιμή αποδεικνύει ότι αυτή η μέθοδος έχει μεγάλο λάθος ανάλυσης
  Ας πάρουμε για παράδειγμα την ανάλυση υψηλής καθαρότητας υδρογόνου: το τυποποιημένο αέριο είναι έξι ακαθαρσίες που διατίθενται στο ήλιο, ενώ το δείγμα αερίου είναι έξι ακαθαρσίες στο υδρογόνο. Επειδή το μοριακό βάρος του ελίου και του υδρογόνου είναι διαφορετικό, προκαλείται μια κατάσταση όπου η ποσότητα του δείγματος δεν είναι * με την ίδια ροή
  GC-9560-HGΕξοπλισμένο με σύστημα διόρθωσης πίεσης, για να ξεπεράσει το πρόβλημα της ποσότητας δειγματοληψίας που προκαλείται από διαφορές στο υπόγειο αέριο και να εξασφαλίσει την ακρίβεια των δεδομένων.
• Βαλβίδα δειγματοληψίας χωρίς νεκρό όγκο
  Το GC-9560-HG είναι εξοπλισμένο με ειδική βαλβίδα δειγματοληψίας χωρίς νεκρό όγκο, χρησιμοποιώντας τη μέθοδο δειγματοληψίας με προστασία από την απορρόφηση, αποφεύγοντας αποτελεσματικά το πρόβλημα των υπολειμμάτων αέρα και μειώνοντας την επίδραση της διαδικασίας δειγματοληψίας στην ανάλυση σε χαμηλό επίπεδο zui.
• Βαλβίδα μείωσης πίεσης για μεταφορά αερίου
  Η συνηθισμένη βαλβίδα μείωσης της πίεσης, λόγω της παρουσίας μεγάλου αριθμού νεκρών όγκων, επηρεάζει άμεσα την καθαρότητα του αερίου μεταφοράς μετά την έξοδο της βαλβίδας μείωσης της πίεσης, προκαλώντας μια υψηλή συγκέντρωση ακαθαρσίας στο αέριο μεταφοράς, επηρεάζοντας έτσι τα όρια ανίχνευσης ολόκληρου του
  Το χρωματογράφημα αερίου ιόντων ηλίου GC-9560-HG είναι εξοπλισμένο με πλήρη βαλβίδα μείωσης πίεσης από ανοξείδωτο χάλυβα με λειτουργία ρύθμισης πίεσης δύο επιπέδων, βελτιώνοντας σημαντικά τη σταθερότητα πίεσης, εξασφαλίζοντας τη σταθερότητα της γραμμής βάσης, μειώνοντας ταυτόχρονα τον νεκρό όγκο στο σώμα της βαλβίδας και βελτιώνοντας

GC-9560-HGΔιάγραμμα ανάλυσης: