Μέλος VIP
Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκτόξευσης πεδίου υπερυψηλής ανάλυσης Σειρά SU8600
Με την ταχεία ανάπτυξη των τεχνολογιών συλλογής δεδομένων και επεξεργασίας δεδομένων, το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο εισέρχεται σε μια εποχή που δίνει έμφ
Λεπτομέρειες προϊόντος
Ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκτόξευσης πεδίου υπερυψηλής ανάλυσης Σειρά SU8600
Με την ταχεία ανάπτυξη των τεχνολογιών συλλογής δεδομένων και επεξεργασίας δεδομένων, το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο εισέρχεται σε μια εποχή που δίνει έμφαση όχι μόνο στην ποιότητα των δεδομένων, αλλά και στη διαδικασία συλλογής τους. Η σειρά SU8600 υποστηρίζει την υψηλής ποιότητας εικόνα της σειράς Regulus 8200, την ανάλυση μεγάλης ροής και την τεχνολογία απεικόνισης κρύου πεδίου για μακρά και σταθερή λειτουργία, ενώ βελτιώνει σημαντικά την υψηλή ροή και την αυτόματη πρόσβαση δεδομένων.
- *
- Οι φωτογραφίες της συσκευής περιέχουν επιλογές.
-
Χαρακτηριστικά
-
Προδιαγραφές
Χαρακτηριστικά
Χαρακτηριστικά
Εικόνα υπερυψηλής ανάλυσης
Η πηγή ηλεκτρονικών υψηλής φωτεινότητας της Hitachi εξασφαλίζει εξαιρετικά υψηλή ανάλυση εικόνων ακόμη και σε εξαιρετικά χαμηλές τάσεις προσγείωσης.
Παρατηρήθηκε ένα παράδειγμα ζεολίτη τύπου RHO σε συνθήκες τάσης 0,8 kV. Η αριστερή εικόνα είναι η συνολική μορφή του σωματιδίου, η δεξιά εικόνα είναι η μεγέθυνση της εικόνας, η λεπτή δομή των σκαλιών στην επιφάνεια του σωματιδίου είναι σαφώς ορατή. Η παρατήρηση χαμηλής τάσης είναι πιο αποτελεσματική για τη μείωση της βλάβης της δέσμης ηλεκτρονίων και την απόκτηση πληροφοριών για το σχήμα της επιφάνειας.
Δείγματα: Ιαπωνικό Ινστιτούτο Ολοκληρωμένης Βιομηχανικής Τεχνολογίας
Εικόνες πίσω διάσπαρσης χαμηλής ταχύτητας υψηλής επιφάνειας
3D NAND παρατήρηση τομής
Σε συνθήκες χαμηλής ταχύτητας επιτάχυνσης, το ηλεκτρονικό σήμα πίσω διασποράς μπορεί να δείξει σαφώς τη διαφορά επένδυσης μεταξύ του στρώματος οξειδίου του πυριτίου και του στρώματος νιτριδίου του πυριτίου.
3D NAND παρατήρηση τομής (τάση επιτάχυνσης: 1,5 kV)
Γρήγορη εικόνα BSE: Νέος ανιχνευτής ηλεκτρονικών διασποράς πλάτης (OCD)*
Χάρη στη χρήση ενός νέου ανιχνευτή OCD, μια καθαρή εικόνα βαθιάς δομής Fin-FET παρατηρείται ακόμη και αν η σάρωση διαρκεί λιγότερο από 1 δευτερόλεπτο.
Παρατηρήσεις εσωτερικής δομής SRAM διαδικασίας 5nm (επιτάχυνση τάσης: 30kV, χρόνος σάρωσης <1 δευτερόλεπτο)
Προηγμένες δυνατότητες αυτοματοποίησης*
Το EM Flow Creator επιτρέπει στους πελάτες να δημιουργούν αυτοματοποιημένες ροές εργασίας για συνεχή συλλογή εικόνων. Το EM Flow Creator ορίζει διαφορετικές λειτουργίες SEM ως γραφικές ενότητες, όπως η ρύθμιση μεγέθυνσης, η κίνηση της θέσης του δείγματος, η ρύθμιση της εστιακής απόστασης και της φωτεινής και σκοτεινής αντίθεσης. Οι χρήστες μπορούν να σύρουν με ένα απλό ποντίκι αυτές τις ενότητες με λογική σειρά σε ένα πρόγραμμα εργασίας. Μετά την αποσφάλιση και την επιβεβαίωση, το πρόγραμμα λαμβάνει αυτόματα υψηλής ποιότητας, αναπαραγόμενα δεδομένα εικόνας σε κάθε κλήση.
Ευέλικτη διεπαφή χρήστη
Η εγγενής υποστήριξη διπλής οθόνης παρέχει ευέλικτο και αποτελεσματικό χώρο λειτουργίας. 6 κανάλια εμφανίζονται και αποθηκεύονται ταυτόχρονα, επιτυγχάνοντας γρήγορη παρατήρηση και συλλογή πολλών σημάτων.
Τα σήματα 1, 2, 4 ή 6 καναλιών μπορούν να εμφανίζονται ταυτόχρονα στην ίδια οθόνη, συμπεριλαμβανομένων των ανιχνευτών SEM, καθώς και της κάμερας αίθουσας δείγματος και της κάμερας πλοήγησης. Ο χώρος εργασίας μπορεί να επεκταθεί χρησιμοποιώντας δύο οθόνες, προσαρμοζόμενη διεπαφή χρήστη για να αυξηθεί η παραγωγικότητα.
Προδιαγραφές
| Μοντέλο | Σειρά SU8600 | |
|---|---|---|
| Ηλεκτρονικά οπτικά συστήματα | Δεύτερη ηλεκτρονική ανάλυση | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Μεγέθυνση | 20 to 2,000,000 x | |
| Ηλεκτρονικό όπλο | Πηγή ηλεκτρονικών εκπομπών κρύου πεδίου που υποστηρίζει την ευέλικτη λειτουργία αναλαμπήσεων και περιλαμβάνει σύστημα ψησίματος με ανόδο. | |
| Τάση επιτάχυνσης | 0.5 to 30 kV | |
| Τάση προσγείωσης | 0.01 to 20 kV | |
| ανιχνευτής | (εν μέρει επιλογή) | Ανίχνευση (UD) |
| Φίλτρο ενέργειας UD ExB με αναμίγμα σήματος SE/BSE | ||
| Κάτω ανιχνευτής (LD) | ||
| Ανίχνευση κορυφής (TD) | ||
| Φίλτρο ενέργειας TD | ||
| Ηλεκτρονικός ανιχνευτής πίσω διάσπαρσης (IMD) μέσα στον καθρέφτη | ||
| Ημιαγωγικός ανιχνευτής ηλεκτρονικών διασποράς (PD-BSED) | ||
| Νέος ανιχνευτής ηλεκτρονικών διασποράς (OCD) | ||
| Καθοδικός ανιχνευτής φθοροδότησης (CLD) | ||
| Ανίχνευση μετάδοσης (STEM Detector) | ||
| συνάρτημα | (εν μέρει επιλογή) | Κάμερα πλοήγησης, κάμερα αίθουσας δειγματοληψίας, ενεργειομέτρο ακτίνων Χ (EDS), ανιχνευτής διάσπαρσης ηλεκτρονικών πίσω (EBSD) |
| Λογισμικό | (εν μέρει επιλογή) | EM Flow Creator, HD Capture (έως 40.960 x 30.720 pixels) |
| Δείγματα | Άξονας κινητήρα | Κινητήρας 5 άξονων (X/Y/R/Z/T) |
| Άξονας κινητήρα | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Δωμάτιο Δείγματος | Μέγεθος δείγματος | Μέγιστη διάμετρος: 150 mm |
- *
- Σε λειτουργία επιβράδυνσης
Σχετικές κατηγορίες προϊόντων
- Συστήματα δέσμης ιόντων εστίασης (FIB/FIB-SEM)
- Προεπεξεργασία δείγματος TEM/SEM
Ηλεκτρονική έρευνα
-
Επαφές
-
Εταιρεία
-
Τηλέφωνο
-
Ηλεκτρονικό ταχυδρομείο
-
WeChat
-
Κωδικός επαλήθευσης
-
Περιεχόμενο μηνύματος
-